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日本nanogray β射線(xiàn)測(cè)厚儀SB-1100系列 通常，為了測(cè)量片材的寬度方向上的厚度分布，檢測(cè)系統(tǒng)由掃描儀攜帶并進(jìn)行測(cè)量。通常使用激光位移計(jì)作為不接觸地測(cè)量厚度的手段，但是如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上，則其傳送的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度，從而導(dǎo)致結(jié)果。高精度測(cè)量是困難的。