在半導(dǎo)體制造這一要求極為嚴(yán)苛的領(lǐng)域，每一微米的精度、每一牛頓的力量控制都直接關(guān)系到最終產(chǎn)品的良率與性能。TEAC TU-GR 100KN-G載荷傳感器憑借其技術(shù)特性，正成為半導(dǎo)體設(shè)備中力量測量與控制的關(guān)鍵組件，為提升工藝一致性與產(chǎn)品品質(zhì)提供可靠保障。

精準(zhǔn)測量，奠定半導(dǎo)體制造基石

TEAC TU-GR 100KN-G擁有0.05%的精度等級和2mV/V的額定輸出，確保在半導(dǎo)體加工各個環(huán)節(jié)中提供精確可靠的力值數(shù)據(jù)：

• 晶圓處理與拋光：實(shí)時監(jiān)控拋光壓力，確保表面均勻性，減少晶圓破損風(fēng)險

• 芯片封裝測試：精確控制粘接和封裝壓力，提高連接可靠性

• 切割工藝優(yōu)化：精準(zhǔn)的切割力監(jiān)測，延長刀具壽命，提高切割質(zhì)量

超薄設(shè)計(jì)，適應(yīng)緊湊設(shè)備空間

半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部空間極為珍貴，TU-GR 100KN-G的超薄結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其能夠輕松集成到各種緊湊型設(shè)備中，無需重大設(shè)計(jì)變更即可實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有設(shè)備的性能升級。

耐久，保障連續(xù)生產(chǎn)穩(wěn)定性

半導(dǎo)體生產(chǎn)線要求24小時不間斷運(yùn)行，傳感器的可靠性直接影響生產(chǎn)效率：

• 優(yōu)異的抗疲勞性能：在低于額定容量一半條件下使用，可顯著延長使用壽命

• 強(qiáng)大的抗偏心能力：即使在復(fù)雜工況下仍能保證測量準(zhǔn)確性

• 寬溫度補(bǔ)償范圍（-10℃～60℃）：適應(yīng)半導(dǎo)體工廠環(huán)境變化，確保讀數(shù)穩(wěn)定

實(shí)際應(yīng)用，賦能半導(dǎo)體制造升級

TEAC TU-GR 100KN-G在半導(dǎo)體領(lǐng)域已有多個成功應(yīng)用案例：

• 晶圓切割機(jī)壓力控制：實(shí)現(xiàn)切割工藝的精準(zhǔn)力量管理

• 探針卡壓力管理：確保測試過程的可靠接觸與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性

• 電池制造工藝監(jiān)測：在半導(dǎo)體式電池生產(chǎn)過程中提供精確的壓力監(jiān)控

結(jié)語

在半導(dǎo)體技術(shù)快速迭代的今天，制造精度與過程控制已成為決定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素。TEAC TU-GR 100KN-G載荷傳感器以其精度、緊湊的設(shè)計(jì)和可靠的耐久性，為半導(dǎo)體設(shè)備制造商和用戶提供了提升工藝水平的有力工具。選擇TEAC，就是選擇了一種對品質(zhì)的承諾，一種對精密制造的不懈追求。