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15270896115半導(dǎo)體行業(yè)用ekkeagle磁流體密封件介紹
利用磁性流體沿著磁鐵的磁力線接近的特性，它是一種通過將流體保持在旋轉(zhuǎn)軸的密封部分來主要阻擋大氣和真空的密封。 它用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和平板顯示器制造設(shè)備的真空密封，以及用于輸送的機(jī)器人軸承的防塵密封。
磁流體密封中最重要的磁性流體由三個主要成分組成：（1）磁性顆粒，（2）表面活性劑和（3）基礎(chǔ)流體。 所有這些都是在NOK集團(tuán)內(nèi)部開發(fā)和制造的，我們通過我們的分散技術(shù)，表面活性劑調(diào)節(jié)技術(shù)和超低蒸氣壓油制造技術(shù)，使用其他公司沒有的優(yōu)質(zhì)流體提供磁性流體密封件。
1.磁流體密封原理
（1）它是通過干預(yù)流體阻塞大氣和真空（或大氣）的密封。
（2）由于密封部分沒有滑動點，因此不會因磨損而產(chǎn)生異物，并且密封件扭矩低。
2. 磁性流體密封件的特點
（1） 磁性細(xì)顆粒、（<>） 表面活性劑和 （<>） 基礎(chǔ)液都是 NOK 集團(tuán)內(nèi)磁性流體的組成部分。
開發(fā)和制造。
（2）由于它是由磁性流體的成分制成的，因此實現(xiàn)了其他公司無法達(dá)到的高溫特性和低蒸氣壓特性。
a.我們可以處理高達(dá)220°C的環(huán)境溫度。 〔E-01Pa〕
b. 它可以處理高達(dá)E-09Pa或更低（室溫）而無需操作排氣。
（3）多軸如同軸2軸和3軸，每個軸可以獨立旋轉(zhuǎn)。
