高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3的特點(diǎn)

Transpector XPR3 是基于四極桿的下一代高壓過程監(jiān)測器。 盡管外觀緊湊（總長度 237 mm），但它可以在從 2.6 Pa 到高真空的寬范圍內(nèi)使用。 不需要大型復(fù)雜的差速排氣裝置。

特點(diǎn)
●重新設(shè)計(jì)的離子源減少了污染物的影響，延長了使用壽命，并提供清晰的信號來自雙離子源的一個(gè)離子流被送入四極桿過濾器進(jìn)行分壓測量，另一個(gè)離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這使得連續(xù)的總壓力測量具有比離子堿更高的精度。 這改善了高壓范圍內(nèi)的靈敏度損失，并以1.1 Pa為單位實(shí)現(xiàn)了測量度。

●在PVD工藝壓力下運(yùn)行的新型EM（二次電子倍增管）可實(shí)現(xiàn)快速干凈的數(shù)據(jù)收集，并且無需從FC更改為EM而便于數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換。
●新型擴(kuò)展四極桿提高了低質(zhì)量范圍內(nèi)的過濾性能和豐度靈敏度，以及氫氣檢測靈敏度。

應(yīng)用實(shí)例 

?PVD工藝模塊 

?預(yù)清洗模塊 

?脫氣模塊

雙離子源經(jīng)過改進(jìn)，可最大限度地減少污染物的影響，從而延長離子源的使用壽命。

來自該雙離子源的離子流之一被送入四極桿過濾器進(jìn)行分壓測量，另一個(gè)離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這允許以比離子計(jì)更高的精度連續(xù)測量總壓力。